Eingangstests

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MadMax
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Eingangstests

Beitrag von MadMax » 10.12.2008 23:00

Eingangstest ALD PECVD

ALD
1. Die prinzipiellen Prozessschritte von ALD
2. Vor- und Nachteile von ALD
3. Anwendungsgebiete
4. Grenzen von CVD und PVD im Vergleich zu ALD

PECVD
1. Was ist der Vorteil von ECR und ICP gegenüber Plattenanordnung?
2. Vorteile der Trennung von Plasma- und Prozesskammer
3. Es gibt einen Mechanismus, der Schichtwachstum... positiv beeinflusst. Den Prozess nennen und sagen wie man ihn beeinflussen kann. (Ich denke, dass Beschuss mit energiearmen Ionen gemeint war)
4. Was ist das Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke und es Brechungsindex und wie funktioniert es prinzipiell.

studentjk
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Eingangstest EM

Beitrag von studentjk » 28.05.2014 14:11

1. Vorteil 4-Pkt.-Messung gegenüber 2.-Pkt.-Messung
Widerstände des Kabels gehen nicht in Messung ein

2. Bestandteile Triax-Kabel + deren Funktion

3. wozu die Matrix dient

4. wie Schichtwiderstand definiert ist
Rs= Rho/d

5. Wozu benötigt man 4-Pkt.-Messung
Schichtwiderstand und Kelvinstruktur

6. Welche Strukturen zur Messung Kontaktwiderstand
contact chains und Griechisches Kreuz über 2 Ebenen

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