Klausuren

[Tommes]

Mikrosystemtechnik Klausuren

Prüfung MST

Da ich heute die Prüfung in MST bei Prof. Fischer hatte, hier mal so die Fragen die bei uns drankamen:

• Übersicht, was sind Mikrosysteme und wie können sie aufgebaut werden (monolithisch und hybrid)
• Grundsätzliche Verfahren bei der Herstellung von Mikrosystemen
• Möglichkeiten der Schichtabscheidung
• CVD erklären, die Abkürzungen, für die verschiedenen CVDs, Schichthomogenität
• Sputtern erklären, Schichthomogenität
• Grundsätzliches Verfahren in der Oberflächenmikromechanik (Opferschichttechnik)
• -"- Volumenmikromechanik und Möglichkeiten für Ätzstopp
• HALL-Effekt erklären und Aufbau Sensor mit CMOS-Prozess
• Problemen beim normalen HALL-Sensor, Verbesserung (Spinning-Current)
• Energieversorgungsmöglichkeiten
• Erklärung Energieversorgung mit Solarzellen und mit HF-Feld

Ansonsten lief die Prüfung recht locker ab und besonders Dr. Plötner hilft einem auch gern mal auf die Sprünge. Die Bewertung ist auch studentenfreundlich. Anzunehmen ist, dass anstelle der HALL-Sensoren andere Sensoren oder auch Aktoren zu erklären sind, aber ich denke, die einzelnen Themen von uns werden in der ein oder anderen Form immer abgefragt.

Ich kann mich dem Gesagten voll und ganz anschließen. Ich hatte die Prüfung heute, allerdings alleine. Deswegen habe ich nicht alle Fragen bekommen.
Meine Fragen waren:

• Übersicht, was sind Mikrosysteme und wie können sie aufgebaut werden (monolithisch oder hybrid)
• Schichtabscheidungsverfahren "Bedampfen" erklären, Kantenbedeckung, Verbesserung der Kantenbedeckung (Substrat schräg oder drehen)
• Merkmale der Oberflächenmikromechanik (flach, einseitig, flächig, ca. Schichtdicken der Strukturen nennen!)
• Grundsätzliches Verfahren in der OF-µMechanik (Opferschichttechnik), Erklären am Bsp. kapazitiver Drucksensor (Skizze)
• HALL-Effekt erklären und Aufbau im CMOS-Prozess (mit Skizze)
• Energieversorgungsmöglichkeiten nennen
• Erklärung Energieversorgung mit Solarzellen, Schaltprinzip mit C zum speichern und Diode

ich glaube die kennen den artikel, energieversorgung kam gar nicht dran, dafür alles mögliche andere, sehr detailiert, z.b. welcher ätzer ätzt was und wie, man muss auch genau wissen wie die sensoren funktionieren, für mich wars kein spass

[sebsis]

bei mir wollte er erstmalig was über nanoimprint technologie hören
außerdem noch sputtern,verdampfen,hall-sensor, kapazitiver beschleunigungssensor (auch recht detailiert mit physikalischen hintergründen), solarzellenschaltung und lose gekoppelter trafo (auch detailliert mit frequenzgängen und so weiter)

[Kelso]

So das waren die Fragen die zur schriftlichen Klausur im SS14 dran kamen. (Sofern ich mich erinnern kann)

1) Erklären sie die 2 Verfahren der Nanoimprinttechnologoie (Skizze und Beschreibdung)!
2) Erklären sie den Aufbau und die Wirkunsweise beim thermischen Verdampfen!
3) Erklären und skizzieren sie eine CMOS-kompatilbe Oberflächentechbnologie um einen Drucksensor herzustellen!
4) Was sind die Vorteile von Mikrosystemen?
5) Nennen sie die magnetisch nuzbaren Effekte in Sensoren.
6) Zeichnen sie das Ersatzschalbtbild mit allen wichtigen Elementen für eine Energieversogung mittels Iduktivität.

Ich glaube es waren noch 1 oder 2 Aufgaben. Bin mir aber nicht sicher. Alles in allem gut zu machen.